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无尘室常用名词介绍

文章来源:/  2012年07月06日  点击数:3667
无尘室常用名词介绍
 
1. 无尘室定义:无尘室是一个为了对空间内空气中的微粒做控制,所建造的特殊封闭性建筑。一般而言,无尘室也会对温湿度、气流运动模式、与震动噪音等环境因素做控制。
2. 微粒控制:无尘室微粒控制的第一步,是把室内微粒对制程影响的程度做完整分析,然后针对分析结果,订定恰当的微粒控制方式与无尘室管理模式,才能有效率的控制微粒污染。在做微粒影响分析时,必须特别注意数据的量化,也就是粒径与其数量对制程的影响,才是有用的数据。
3. 外来污染源:从无尘室外进入系统的污染源,外来污染源主要是由空调通风系统所导入,另外门、窗、墙壁裂缝等也是外来污染源的成因。
4. 内部污染源:无尘室内部产生污染的来源,一般是制程机器与操作员工,最严重的内部污染源一般是操作员工。
5. 隔离:隔离是污染控制的一种观念,也就是让污染源隔绝在无尘区域之外。这种观念多应用在高洁净度的无尘环境,例如 Class 100,Class 10,Class 1等高滤网覆盖率的无尘室,或是使用迷你洁净室将机台整个包住。
6. 稀释:稀释是污染控制的另一种观念,多应用在洁净度不高的无尘室。例如在 Class 10000的无尘室,因为换气量不大,制程与人员产生的粒子就会在室内打转,要比较常的时间才会排出。因此新的干净空气只能稀释室内的微粒浓度,让室内洁净度控制在某一等级之下就可以了,部要求把人员与制程隔开。使用稀释法作为粒控制时,要特别注意本节第二条微粒影响分析的正确性,能掌握微粒的产生速率,才能有效的稀释微粒。
7. 气流模式:指的是流场型态,气流分布,气流的流向等性质。由于微粒的移除完全掌握在气流的模式,因此愈洁净的无尘室或是无尘区域,对气流模式的掌控就愈重视。基本上要先掌握气流模式,才能掌握洁净度。
8. 单一流向型气流:气流以同一个方向移动,这种无尘室称为单一流向型无尘室,以前称为层流型无尘室,定义并无多大改变。高洁净度无尘室需要单一流向型气流。
9. 非单一流向型气流:气流方向不受控制,就是所谓的乱流型无尘室,洁净度较低的无尘室都是用非单一流向型气流以节省成本。
10. As-built cleanroom(刚完工的无尘室):已经完成且可以操作,所有相关支持设施皆已完成的洁净室,但并没有设备及操作设备的人员。
11. At-rest cleanroom(准备中的无尘室):已经完成且可以操作,所有相关支持设施皆已动作的无尘室,设备已加载并可以操作或已在运转,1如所指定,但没有操作设备的人员。
12. Operational cleanroom(操作中的无尘室设施):一个已在正常运转的无尘室,所有相关支持设施皆已动作,设备及人员皆已加载,运转状况可以呈现和达到其正常的功能。
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